硅片要求 规格： 方片125×125mm 、156×156mm 圆片 3"、4"、5"、6"、8" 测量功能 厚度： 单点及多点厚度 ttv: 总厚度偏差 体电阻率： 单点及多点电阻率 trv: 总体电阻率偏差 测量指标 厚度 范围： 150-1000μm 测量误差: ≤±1.0μm 重复性1σ: ≤0.2μm ttv 范围： 0.0-200.0μm 测量误差： ≤±0.50μm 重复性1σ: ≤0.2μm 电阻率 范围：0.1-30ω.cm 测量误差：≤±3.0%*r 重复性1σ: ≤1.5%*r