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用于测量硅片，蓝宝石的厚度 ttv 弯曲度 翘曲度 平整度
硅片要求 规格： 晶圆2"、 3"、4"、5"、6"、8"
测量功能 厚度： 单点及多点厚度
ttv: 总厚度偏差
warp： 翘曲度
bow: 弯曲度
测量指标 厚度 范围： 150-1000μm
测量误差: ≤±1.0μm
重复性1σ: ≤0.2μm
ttv 范围： 0.0-200.0μm
测量误差： ≤±1.0μm
重复性1σ: ≤0.5μm
warp 范围： 500μm
测量误差： ≤±4.0μm
重复性1σ: ≤0.5μm
bow 范围： ±500μm
测量误差： ≤±4.0μm
重复性1σ: ≤0.5μm
详细介绍
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