测量指标如下： 硅片规格： 方片:125x125mm、156x156mm 圆片:3″、4″、5″、6″、8″ 测试功能： 厚度：单点及多点厚度 ttv：总厚度偏差 体电阻率：单点及多点体电阻率 厚度指标: 测量范围:150μm-1000μm(可调） 偏差:≤±1.0μm 重复性: 1σ≤0.2μm 长时间稳定性(10小时）:1σ≤0.15μm ttv指标: 测量范围:0.0μm-200μm 偏差:≤±0.5μm 重复性: 1σ≤0.2μm 电阻率指标: 测量范围:0.1ω.cm-30ω.cm 偏差:≤±3%*r 重复性:1σ≤1.5%*r 测试环境要求： 温度范围:15～27℃ 湿度范围:35%～85% dsi2000是一款手动无接触式的厚度、ttv、电阻率测量仪，测量操作简单，可以快速地进行进行硅片分行检测。有单点、五点及连续测量方式可供选择，可以满足各种测量需要，另外因为配备独立的电脑操作系统，数据保存处理也非常简单，支持生成多种格式的数据报告。